研究課題
挑戦的萌芽研究
電気エネルギーの効率的利用と高性能電子機器の開発には、高品質半導体を用いたパワー半導体デバイスの開発が必要である。本研究は、溶融半導体物質中において、パルス電力を印加することによって放電を生成し、その電気特性の評価を行った。またパルス放電を利用して半導体結晶の成長を行った。その結果、高密度パルス放電を効率的に生成するプロセス条件を見出し、高密度パルス放電を利用することで、半導体結晶成長に成功した。
無機材料・物性
