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本研究では、大気中での非平衡プラズマCVDによる機能性酸化物薄膜プロセスのさらなる発展を目的とし、そのための基礎的な検討を行った。具体的には、異なる形状のプラズマヘッドの利用によるガス流の流れや速度を変化させ、その薄膜特性への影響を調査した。また、プラズマガスとしてアルゴンを用いることによる薄膜プロセスへの影響について検討した。また、ガス流の速度について、より高速化を可能とするために複雑な形状を有する金属ノズル作成のための基礎的な検討を行った。それぞれの要素について検討し、プロセスへの影響および薄膜特性への影響について新たな知見を得ることが出来た。
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