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2015 年度 研究成果報告書

Cr系溶媒を用いた高品質AlN単結晶の低温高速溶液成長

研究課題

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研究課題/領域番号 26630376
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 金属・資源生産工学
研究機関東京大学

研究代表者

吉川 健  東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (90435933)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード窒化アルミニウム / 溶液成長 / 直接観察 / 溶解度
研究成果の概要

本研究では、Cr系溶媒を用いたAlN結晶の溶液成長の研究を行った。第一に、Cr系溶液の窒素並びにAlN溶解度の測定を行い、従来の溶液系に比べてCr-Ni系溶液が高いAlN溶解度を有することを示した。第二に、Cr-Ni系溶液を用いたAlNの溶液成長挙動を調査した。Cr-44mol%Ni、Cr-30mol%Ni合金溶媒に用いて溶液成長を実施し、AlNコートC面サファイアを種結晶に用いた際に最高速の300ミクロン/hでの成長を達成した。さらにサファイア基板を通したAlNの成長挙動の直接観察用装置を製作し、1600℃にてサファイア上でのAlNのアイランド生成と成長の観察に成功した。

自由記述の分野

高温物理化学

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公開日: 2017-05-10  

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