申請者が開発しているミストCVDは、最近の研究でライデンフロスト状液滴による「超マイグレーション」により基板全面に亘り均質かつ原子レベルで高品質な機能薄膜の作製が出来る技術である事がわかってきた。この技術を応用し「立体物」表面に対し均質かつ高品質に薄膜を作製する技術の開発を行うため、ライデンフロスト状態にある数μm径の液滴の挙動解析を行う事が本研究の目的である。 微小液滴(大きさ:数μm、速度:数m/s)は大気圧下で不安定で熱等の外乱により容易に動いてしまうため、単純に観測が困難である。そこで特殊な装置を試作し測定系を構築した。この装置を用いて数m/sで移動する微小液滴の挙動の撮影に成功した。
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