2017 年度研究成果報告書

Gaを用いたAlNの独自液相成長法の技術開発と融液ダイナミクスからの技術向上

研究課題

研究課題/領域番号	26706013
研究種目	若手研究(A)
配分区分	一部基金
研究分野	結晶工学
研究機関	東北大学
研究代表者	安達正芳東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (90598913)
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2018-03-31
キーワード	液相成長 / 窒化アルミニウム / 融液熱物性
研究成果の概要	単結晶窒化アルミニウム（AlN）はAlGaN系深紫外発光素子の基板材料として気合される材料である．近年，筆者らはGa-Alフラックスを用いた独自のAlN液相成長技術の開発を行っている．本研究課題では，実用化へ向け，AlNの成長に関する研究を行うとともに，フラックス温溶解度や融液熱物性等の基礎データを取得することで，融液ダイナミクス・結晶成長メカニズムの解明に必要な基礎データを取得する．
自由記述の分野	結晶成長