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本研究では、荷電粒子誘起発光(Ion beam induced luminescence: IBIL)を利用した微粒子試料の化学組成分布分析技術を開発した。照射対象の化学組成により、IBILの波長に差異が生じる。このため、IBILを顕微分光することで、数マイクロメートル程度の試料の化学組成が分析できる。さらに、集束ビームの高速な走査時間に対応する光子検出器を開発することで、微粒子試料表面の化学組成分布を取得可能とした。実際の微粒子試料を大気取り出し集束イオンビームを利用して分析することで、通常大気環境下での微粒子表面の微量化学組成分布の可視化やその動態解析がIBIL顕微分光により可能となった。
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