研究課題
若手研究(A)
本研究ではCMOSイメージセンサの各画素上に集積化したMEMSファブリペロー干渉計を用いて、タンパク質をはじめとする生体分子同士にはたらく分子間力をとらえることにより、標識を用いずに分子を検出し、さらに吸着分子の構造変化を捉えることが可能なマルチモーダルセンサの開発を行った。その成果として、従来よりも22倍ストレス感度が高い分子間力センサと100倍高感度なMEMS質量センサの作製に成功した。
マイクロメカトロニクス