|
アモルファスシリコン（a-Si）は、これまで、蒸着やシランを用いた気相成長によって作製されてきたが、液体から直接バルク状のa-Siを作ることは不可能であった。近年、液体Siの過冷却状態に着目した２つの理論提案がなされ、過冷却液体Siの急冷によるバルクa-Si作製の可能性が開けてきた。本研究では、静電浮遊法を用いて液体Siを300K以上過冷させ、その状態を急冷凍結することにより、液体Siから直接バルク状のa-Siを作製することを試みた。これまでにa-Siと思しき試料が得られており、今後、バルクa-Siの構造、物性評価を進める予定である。
|
