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本研究では、最初にガラス基板上に直流及び高周波マグネトロンスパッタ（MS）法により成膜された Al 添加 ZnO（AZO）透明導電膜における配向性とキャリア輸送との関係を定量化した。直流 MS の特長は、(0001) 配向性を上げることで高キャリア輸送の実現が可能であることを見出した。解決策として、(0001) 優先配向を有した 10 nm の AZO 薄膜を高周波 MS でガラス基板上に作製し、その上に直流 MS で AZO を成膜することで、(0001) 配向以外の配向組織 ((10-11)等) をほぼ無くすことに成功した。その結果、多結晶薄膜におけるキャリア輸送特性の制御が実現となった。
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