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2017 年度 研究成果報告書

大気圧下プラズマCVD法によるアモルファス炭素異方性制御技術の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 26790065
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 プラズマエレクトロニクス
研究機関釧路工業高等専門学校

研究代表者

齋藤 誠紀  釧路工業高等専門学校, 創造工学科, 准教授 (40725024)

研究協力者 高村 秀一  
大野 哲靖  
山田 英明  
中村 浩章  
田村 祐一  
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2018-03-31
キーワードアモルファス炭素 / 大気圧 / マイクロ波 / プラズマ
研究成果の概要

メタンガスの供給設備を整えるとともに、マイクロ波電源・導波管の組立・設置を行い、大気圧プラズマ・ジェット生成装置を完成させた。さらに、プラズマジェットの周囲にチャンバーを設置し、大気を排気し窒素ガスを充てんすることで、酸素を遮断した状態でプラズマジェットを照射する環境を整えた。大気中では酸素と結合した炭素堆積物が得られるのみであったが、酸素遮断下でのメタンプラズマ照射実験を行った結果、、煤ではない炭素堆積物が基板上に点在している様子を確認できた。また、同じ照射装置を用いて、タングステン基板にヘリウムプラズマを照射した結果、タングステン表面に繊維状のナノ構造が発生することを確認した。

自由記述の分野

プラズマ材料科学

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公開日: 2019-03-29  

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