2015 年度研究成果報告書

高速イオンビーム表面チャネリング法によるDIETモフォロジーの定量測定

研究課題

研究課題/領域番号	26790067
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	応用物理学一般
研究機関	大阪教育大学
研究代表者	深澤優子大阪教育大学, 教育学部, 准教授 (50379327)
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード	イオンビーム / 表面チャネリング / 格子欠陥 / 電子遷移誘起脱離 / アルカリハライド / 表面モフォロジー
研究成果の概要	電子線照射により電子遷移誘起脱離が起こったアルカリハライド表面には単原子層矩形ピットが形成され，表面が一層ごとに剥離する。この表面に高速イオンビームを斜入射し，散乱強度の変化を測定することにより，１層脱離に必要な照射量を見積もった。また，矩形ピットを導入したモデル表面でイオン軌道計算を行い，実験結果と比較することで脱離の各段階でのピットの存在による表面ステップ密度や表面形状を予想した。
自由記述の分野	放射線物理学