| 研究課題/領域番号 |
26790075
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| 研究機関 | 独立行政法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
加藤 英俊 独立行政法人産業技術総合研究所, 分析計測標準研究部門, 研究員 (60583747)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| キーワード | X線源 / 白色光源 / 高輝度 / カーボンナノ構造体電子源 |
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| 研究実績の概要 |
従来の金属ターゲットに対して透過型カーボンターゲットを用いると、入射電子エネルギー100～150 keVにおいて約3倍輝度が向上することがシミュレーション結果によって得られている。本研究ではシミュレーション結果のように高輝度なX線が発生できることを実験的に実証するとともに、当研究グループにおいてこれまで使用してきた針葉樹型カーボンナノ構造体冷陰極電子源と組み合わせることによりX線スペクトルにコンタミネーション（不要な特性X線ピーク）がない高輝度な白色X線源の実現を目的として、平成26年度は準備として下記1～4の項目に示すようにX線源製作及びX線出射試験を進めた。1、X線源で使用する針葉樹型カーボンナノ構造体電子源の100 kV以上の高電圧印加に対応した陰極部の設計製作を行い、電子源基板へのカーボンナノ構造体成膜、出力安定化処理を行った。2、透過型カーボンターゲット上における局所的な加熱を軽減するため、ターゲットを回転可能とした。回転導入機にモーターを搭載した真空導入部を製作、回転導入機と透過型カーボンターゲット間はセラミックにより絶縁を行い、ターゲット側軸受部から高電圧印加可能及び冷却可能とした。3、X線発生用の高電圧発生回路（コッククロフト回路）及び駆動回路を製作し、150 kVまでの高電圧発生を確認した。4、100kVまで高電圧を印加し、針葉樹型カーボンナノ構造体電子源からの電子出射及びカーボンターゲットからのX線発生を確認した。平成27年度に、100～150 kVの加速電圧における白色X線の出射、及び、X線のエネルギースペクトル測定を行うことで、輝度およびスペクトルの評価を実施する。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
研究実施計画に記載した通りに平成２６年度は遂行した。
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| 今後の研究の推進方策 |
平成２６年度に製作を行ったX線源の出力を徐々に上げていき、平成２７年度中に100～150 kVの加速電圧における白色X線の出射、及び、X線のエネルギースペクトル測定を行う。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
年度末における物品の購入において、消費税の予定額と実際のずれによって生じてしまった。
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| 次年度使用額の使用計画 |
平成27年度の研究計画に変更はない。
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