本研究は新規技術として GCIB (Gas Cluster Ion Beam) を導入することで、マイクロマシン技術を利用した独自の超軽量 X 線光学系の反射面の平滑化を目指し、角度分解能の向上を図るものである。GCIB プロセス後、光学顕微鏡、走査型電子顕微鏡および反射面の一次元プロファイルを取得し評価した結果、照射側となる光学系表側の表面の一部がえぐれ、エッチング効果が確認できた。しかしながら光学系裏側では大きな変化が見られなかったため、ビームが 20 um 間隔で並ぶ反射鏡間にはほとんど侵入することができない、もしくはエッチングパワー不足であることが分かった。
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