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本研究では超音波法で材料裏面の粗さを評価する手法を提案した．はじめに非周期的な裏面について，種々の非周期的な粗面を仮定して順解析で反射波の強度を計算し，裏面反射波の強度から裏面の二乗平均平方根粗さを算定する粗さ評価式を導出した．提案した粗さ評価式について数値シミュレーションと実験で粗さ評価精度を調査した結果，入射角0°で縦波を送信し，裏面で反射した縦波の強度から粗さを評価すれば精度が最も高くなることを示した．次に周期的な裏面について，0°と60°の入射角で超音波を送受信し，受信波形を周波数解析して得た正規化したピーク周波数の強度から裏面の高さを求める評価式を提案し，実験で有効性を示した．
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