|
表面の局部傾斜角度測定に基づく新たな表面形状測定システムの開発に取り組んだ．本提案では，対象表面に照射したレーザビームの反射光を，ミラーの反射を介して，レンズとポジションセンサにより角度検出する．ペンタミラーを走査することで，表面の局部傾斜角に応じて，センサ上のビームスポット位置が変化するが，スポット位置が変化しないようにミラーを回転することが可能なフィードバック制御システムを開発した．ミラーの回転角度を自己校正型ロータリエンコーダによって測定することにより，間接的に表面の局部傾斜角度を測定できる．平面から数m程度までの曲率を持つ表面形状を数nmの絶対精度で測定できることを実証した．
|
