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2016 年度 実績報告書

計算科学シミュレーションを活用した化学機械研磨用スラリーの理論的設計

研究課題

研究課題/領域番号 26820029
研究機関東北大学

研究代表者

尾澤 伸樹  東北大学, 金属材料研究所, 助教 (60437366)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード化学機械研磨 / 量子化学 / 分子動力学法 / 第一原理計算 / メカノケミカル反応
研究実績の概要

電子機器用におけるガラス材料の化学機械研磨による平坦化には、酸化セリウム砥粒を水に溶かしたスラリーが用いられている。セリウムは海外でもごく一部の地域に偏在しているため安定供給が難しく、酸化セリウム砥粒の使用量低減が強く求められている。そこで、計算科学シミュレーションによるセリウムの使用量を減らした新規代替砥粒、またその研磨性能を向上させるための分散剤の理論的設計が求められている。本年度は、TiO2表面上に担持したCeO2ナノクラスターに着目し、TiO2担体へのNやFといった異元素の添加が、CeO2ナノクラスターのガラスに対する化学反応活性に与える影響を検討した。その結果、F添加することでCeO2クラスターにおけるCe原子の電荷が減少することが確認された。これまで得られた知見から、この電荷の減少はガラス基板のSi-O結合を弱めるのに有効と考えられる。また、高いガラス研磨性能を示す分散剤を明らかにするスラリー中における砥粒の分散シミュレーションを行うため、高いガラス研磨性能を示すCaZrO3砥粒と分散剤であるポリアクリル酸間の反応プロセスを第一原理計算によって検討した。ポリアクリル酸のCaZrO3表面上における吸着状態を第一原理計算によって計算することで、ポリアクリル酸とCaZrO3間のポテンシャルエネルギー曲線を得た。得られたポテンシャルエネルギー曲線をMorseポテンシャルでフィッティングすることで、粗視化された砥粒と分子間の適切なポテンシャルパラメータを決定した。そのパラメータによってスラリー中におけるCaZrO3砥粒の分散シミュレーションに成功した。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Atomistic Mechanisms of Chemical Mechanical Polishing of a Cu Surface in Aqueous H2O2 : Tight-Binding Quantum Chemical Molecular Dynamics Simulations2016

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawaguchi, Hiroshi Ito, Takuya Kuwahara, Yuji Higuchi, Nobuki Ozawa, and Momoji Kubo
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials & Interfaces

      巻: 8 ページ: 11830-11841

    • DOI

      10.1021/acsami.5b11910

    • 査読あり
  • [学会発表] 計算科学手法を用いた GaN CMP における砥粒-基板間の化学反応機構の検討2017

    • 著者名/発表者名
      五十嵐拓也, 河口健太郎, 大谷優介, 樋口祐次, 尾澤伸樹, 久保百司
    • 学会等名
      精密工学会2017年度春季大会
    • 発表場所
      慶応義塾大学、横浜
    • 年月日
      2017-03-13 – 2017-03-15
  • [学会発表] First-principles Calculations of High Efficiency Abrasive Grain for GaN Chemical Mechanical Polishing2017

    • 著者名/発表者名
      Takuya Igarashi, Kentaro Kawaguchi, Yusuke Ootani, Takeshi Nishimatsu, Yuji Higuchi, Nobuki Ozawa, and Momoji Kubo
    • 学会等名
      41st International Conference and Expo on Advanced Ceramics and Composites
    • 発表場所
      Hilton Daytona Beach Resort and Ocean Center, Daytona Beach, Florida, USA
    • 年月日
      2017-01-22 – 2017-01-27
    • 国際学会
  • [学会発表] Polishing Simulation of Gallium Nitride Substrate Assisted by Chemical Reactions with Hydroxyl Radicals2017

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawaguchi, Yusuke Ootani, Takeshi Nishimatsu, Yuji Higuchi, Nobuki Ozawa, and Momoji Kubo
    • 学会等名
      41st International Conference and Expo on Advanced Ceramics and Composites
    • 発表場所
      Hilton Daytona Beach Resort and Ocean Center, Daytona Beach, Florida, USA
    • 年月日
      2017-01-22 – 2017-01-27
    • 国際学会
  • [学会発表] 計算科学手法を用いたGaN CMPにおいて高い化学反応活性を有する研磨砥粒の検討2016

    • 著者名/発表者名
      五十嵐拓也, 河口健太郎, 大谷優介, 西松毅, 樋口祐次, 尾澤伸樹, 久保百司
    • 学会等名
      2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      茨城大学、水戸
    • 年月日
      2016-09-06 – 2016-09-08

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公開日: 2018-01-16  

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