• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2016 年度 研究成果報告書

計算科学シミュレーションを活用した化学機械研磨用スラリーの理論的設計

研究課題

  • PDF
研究課題/領域番号 26820029
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
研究機関東北大学

研究代表者

尾澤 伸樹  東北大学, 金属材料研究所, 助教 (60437366)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード化学機械研磨 / 第一原理計算 / 分子動力学法 / 量子化学 / メカノケミカル反応
研究成果の概要

ガラスの化学機械研磨に用いられる酸化セリウムの使用量低減に貢献するため、酸化セリウム砥粒に対する新規代替砥粒及び代替砥粒を水に溶かしたスラリーの研磨性能を向上させる分散剤の計算科学シミュレーションを活用した設計手法の確立を目標とした。TiO2(110)上におけるCeO2クラスターの電子状態を第一原理計算で計算した結果、バルク状態のCeO2と比較して低価数となることが明らかにされた。これはガラスに対してより高い化学反応活性を有することを示す。また、ポリアクリル酸といった分散剤及びLa固溶CeO2やSrFeO3砥粒が溶解したスラリー中における分散状態の分子動力学シミュレーションに成功した。

自由記述の分野

計算科学シミュレーション

URL: 

公開日: 2018-03-22  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi