|
本研究では，固体NMRによるDLC膜のsp3定量評価の可能性について検討した．12Cメタン，13Cメタンを用いて同条件で成膜したDLCは，材料的特性，機械的特性ともに概ね同じ膜が形成できることが判明した．また，固体NMRによるsp3評価は，XPS，TEM-EELS評価結果と比較し得ること，および膜の粉末化による膜構造変化の影響は小さいことから，固体NMRはsp3定量評価として十分可能であると考えられる．一方，粉末化による膜の内部応力緩和の影響について，さらに検討する必要がある．また，膜の粉末化処理の簡便化については解決策を見出せなかった．
|
