| 研究成果の概要 |
MHz帯の音波を用いたメガソニックによる半導体デバイスの物理洗浄手法の確立のために, 数値流体力学を用いてメガソニック場中の非球状複数気泡挙動の数値解析を行った. 気泡の並進運動に注目した研究では, 二気泡の平衡半径毎の気泡挙動の分類を行い, 気泡挙動を制御したメガソニック洗浄のために有用な知見を得た. 気泡の振動挙動に注目した研究では, 気泡個数が増加すると, より小さな平衡半径の気泡が高い圧力を誘起することがわかった. これは, 多数の気泡が存在する現実のメガソニック場中では, 単一気泡解析から想定されるよりは小さな気泡が洗浄及びダメージ発生に影響を与えていると考えられることを示している.
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