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2015 年度 研究成果報告書

電子線誘起電流法によってSrTiO3結晶中の転位の電気特性評価

研究課題

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研究課題/領域番号 26820120
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

陳 君  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, MANA研究員 (90537739)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワードSrTiO3 / Resistive switching / Dislocation / EBIC / TEM
研究成果の概要

電子材料の開発では、新規材料の導入で、従来素子の高性能化や新たな動作特性の探求がなされている。抵抗変化型メモリの材料として、チタン酸ストロンチウム(STO)が注目され。STOは、シリコンに比べて欠陥が多く、期待していた物性値が得られていないのが現状である。一方で、結晶欠陥が機能に大きく関与しているという報告がある。本研究では、STO中の拡張欠陥が、どのように電気的性質に関与しているかを研究する。電子線誘起電流(EBIC)法によって試料内の転位密度と電気特性を調べ、メモリ作用との関連を明らかにする。更に、電子顕微鏡観察によって転位の性格を決定する。

自由記述の分野

半導体材料・電子顕微鏡

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公開日: 2017-05-10  

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