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2015 年度 研究成果報告書

ソース端ドナー原子のエネルギーフィルタ効果を用いたSiナノトランジスタ

研究課題

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研究課題/領域番号 26820127
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関静岡大学

研究代表者

Moraru Daniel  静岡大学, 工学部, 准教授 (60549715)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード電子デバイス・機器 / シングルドーパント / シリコン / 量子ドット / ドーパント原子 / ナノデバイス / トランジスタ
研究成果の概要

数ドナー原子は輸送特性を制御したナノスケールSiトランジスタを作製した。ノンドープチャネルを有するトランジスタでは、ソース端付近に拡散ドナー原子はパスとして動作する可能性がある。単一電子トンネリング(SET)は、~100Kまで観察することができる。
選択的にドープされたチャネルトランジスタでは、チャネルの中心で強く結合ドナー原子は、支配的な量子ドット(QD)を形成することができる。狭いチャネルデバイスの場合は、SET動作があっても、室温まで観察される。
QDの位置も体系的中心とソース端との間で変更された。高温動作のために最適化された条件は、このように次の段階として同定することができる。

自由記述の分野

電子デバイス・機器

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公開日: 2017-05-10  

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