研究課題
若手研究(B)
水溶液プロセスとは従来の固相法や気相法と比較し、低温・低コスト・低環境負荷での材料作製が期待される手法である。本研究では，水溶液プロセスの一種であり、新しい成膜技術であるリアクティブスピンコート法を開発し，特に酸化物透明導電膜への応用を目指して、ZnO成膜を試みた。結果として、上記手法によるガラス基板上へのZnO結晶形成に成功した。さらに、これまでよりも精密に膜構造制御可能な添加剤を見出した。
無機材料工学、無機化学、結晶学
