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2015 年度 実績報告書

薄膜断面AFM観察による応力印加された薄膜内部の圧電特性評価

研究課題

研究課題/領域番号 26820294
研究機関静岡大学

研究代表者

坂元 尚紀  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (80451996)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード原子間力顕微鏡 / 薄膜 / 断面
研究実績の概要

原子間力顕微鏡(AFM)を用い、プローブを薄膜断面にアプローチすることができれば、薄膜断面の微構造のみならず薄膜内部の物性の同時測定も可能な解析が期待される。しかしながらこれまでにAFMを用いた薄膜断面の観察に関する報告は少なく、明瞭な断面画像を得るための試料加工方法や観察技術は確立していない。そこで本研究ではAFMによる強誘電体薄膜試料の断面観察のために試料の加工方法とその条件及び観察方法を検討した。
本研究ではSi基板上にCSD法により電極としてLSCOあるいはLNOを堆積させ、その上にPMN-PTあるいはPZT強誘電体薄膜を堆積させたものを用いた。この試料をダイヤモンドカッターを用いて切り出し、機械研磨した後、試料の断面を更にCross section Polisher(CP)を用いてArイオンミリングにより研磨した。研磨の際、薄膜部分をイオン源から離して設置することにより再堆積物(リデポ)の少ない断面が得られた。研磨された断面をSEMを用いて観察し、研磨の状況を確認しながら最適な研磨条件を決定した。研磨後、断面を走査できるように設計したホルダーに試料を固定し、AFMにより薄膜断面の微構造を観察した。
最適条件で研磨した試料をAFMにより断面観察した結果、明瞭な画像を得ることに成功した。同様の膜厚と構造はFE-SEMによる薄膜断面観察の結果と同等であることから、適切に観察できていることが分かった。一方で、LNO層に特徴的なポーラス構造から、LSCO/LNO/Siの界面は確認することができるが、PMN-PT/LSCO界面は確認できない。また同様の手法により、PZT層において圧電応答によるバタフライカーブおよび圧電応答像の観察に成功した。定量的な評価は今後の課題であるが、イオン研磨による薄膜断面形成技術およびAFM観察技術の確立に成功した。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2016 2015

すべて 学会発表 (4件) (うち国際学会 2件、 招待講演 1件)

  • [学会発表] Ionic polishing and nano structure observation of Pb(Zr,Ti)O3 thin film by cross sectional atomic force microscopy2016

    • 著者名/発表者名
      N. Sakamoto, S. Miyazaki, N. Wakiya, H. Suzuki.
    • 学会等名
      Electroceramic XV
    • 発表場所
      European Center of Ceramics, Limoges, France
    • 年月日
      2016-06-27 – 2016-06-29
    • 国際学会
  • [学会発表] Arイオンミリングを用いたPb(Zr,Ti)03薄膜断面の形成とAFMによる圧電応答評価2016

    • 著者名/発表者名
      宮崎智史、坂元尚紀、川口昂彦、脇谷尚樹、鈴木久男
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第72回学術講演会
    • 発表場所
      仙台国際センター、宮城県仙台市
    • 年月日
      2016-06-15 – 2016-06-15
  • [学会発表] Cross sectional ionic polishing for nano structure observation of Pb(Zr,Ti)O3 thin film by cross sectional atomic force microscope2015

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Miyazaki,Naonori Sakamoto,Naoki Wakiya,Hisao Suzuki
    • 学会等名
      STAC-9
    • 発表場所
      つくば国際会議場、茨城県つくば市
    • 年月日
      2015-10-19 – 2015-10-21
    • 国際学会
  • [学会発表] ナノ材料の顕微鏡観察による局所構造の解析2015

    • 著者名/発表者名
      坂元尚紀、宮崎智史、山本祥太、 脇谷尚樹、鈴木久男
    • 学会等名
      第28回日本セラミックス協会秋季シンポジウム
    • 発表場所
      富山大学、富山県富山市
    • 年月日
      2015-09-16 – 2015-09-16
    • 招待講演

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公開日: 2017-01-06  

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