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2015 年度 研究成果報告書

薄膜断面AFM観察による応力印加された薄膜内部の圧電特性評価

研究課題

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研究課題/領域番号 26820294
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 無機材料・物性
研究機関静岡大学

研究代表者

坂元 尚紀  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (80451996)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード薄膜 / 強誘電体 / 応力 / 断面 / 原子間力顕微鏡
研究成果の概要

原子間力顕微鏡(AFM)を用い、プローブを薄膜断面にアプローチする新たな薄膜解析手法の確立を目指した。本研究ではAFMによる強誘電体薄膜試料の断面観察のために試料の加工方法とその条件及び観察方法を検討した。
Si基板上に酸化物株電極およびPMN-PTあるいはPZT強誘電体薄膜を堆積させた薄膜をArイオンミリングにより加工し、断面AFM観察した結果、適切に微構造が観察され、PZT層において圧電応答によるバタフライカーブおよび圧電応答像の観察に成功した。定量的な評価は今後の課題であるが、イオン研磨による薄膜断面形成技術およびAFM観察技術の確立に成功した。

自由記述の分野

無機材料物性

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公開日: 2017-05-10  

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