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2016 年度 実績報告書

自己組織化単分子膜およびナノ密着層を用いたグラフェンのガラスへの転写

研究課題

研究課題/領域番号 26870161
研究機関東京大学

研究代表者

藤野 真久  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (70532274)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワードグラフェン / 転写 / 自己組織化単分子膜
研究実績の概要

本研究ではグラフェンの成長基板からシリコンやガラスなど対象基板への高効率転写を行った。
グラフェンはCu箔上に化学気相蒸着法(CVD)などで合成する手法が一般化されている。しかし、Cu箔上に合成したグラフェンはデバイスとして応用するに当たってチップなどの基板上で固定して使用する必要がある。
今回の研究では対象基板上に単分子自己組織化膜(SAM)を配置し、その上にグラフェンを転写することによって高効率かつ高品質のグラフェンの転写に成功した。
その際、SAMにはvinyltrimethoxysilane,2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane、bis(3-(triethoxysilyl)propyl)tetrasulfide、monoglycidyl eher-terminated polydimethylsiloxaneを候補として挙げてグラフェンの転写を確認した。これにはシラン基が基板への固定に大きく関与していることから選定した。しかし、 bis(3-(triethoxysilyl)propyl)tetrasulfideを用いると両端にシラン基を有しているため、グラフェンおよび基板への有効な転写が期待されたが、グラフェン側へのシラン基はグラフェンが薄すぎる故成長基板への反応があったため適していなかった。よって基板側がシラン基、グラフェン側がエポキシ系の修飾基をもつ2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilanが適しているとわかった。

  • 研究成果

    (2件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (1件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Room Temperature Bonding with Polymethylglutarimide using the Surface Activated Bonding method2017

    • 著者名/発表者名
      Takashi Matsumae, Masahisa Fujino and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 印刷中 ページ: 印刷中

    • 査読あり
  • [学会発表] Large area direct transfer technique for graphene onto substrates using self-assembly monolayer2016

    • 著者名/発表者名
      Masahisa Fujino, Kentaro Abe, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging 2016
    • 発表場所
      札幌、札幌コンベンションセンター
    • 年月日
      2016-04-20 – 2016-04-22
    • 国際学会

URL: 

公開日: 2018-01-16  

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