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はじめに原子間力顕微鏡（AFM）を用いた表面電位計測のための検量線を作製した．Au被覆した探針を共振させながらPt表面に接近させ，振幅と位相の変化を測定した．測定値をもとに数値解析し，探針に働く外力のプロファイルを求めた．測定結果は予測した理論と矛盾しない傾向を示し，表面電位を求めるための検量線を作製できた．次に，櫛形電極上にAl2O3およびLiPON薄膜を成膜し，電極間の電位分布を測定した．その結果，Al2O3表面では概ね直線的に変化する電位分布が得られたが，LiPON表面の電位は電極近傍で急峻な変化を示した．空間電荷層の存在によって電極近傍で電位が非線形的な変化を示したと考えられる．
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