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2015 年度 研究成果報告書

透過電子顕微鏡を用いた欠陥構造と界面制御による高誘電率BaTiO3薄膜の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 26889078
研究種目

研究活動スタート支援

配分区分補助金
研究分野 無機材料・物性
研究機関一般財団法人ファインセラミックスセンター

研究代表者

小林 俊介  一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 研究員 (60714623)

研究期間 (年度) 2014-08-29 – 2016-03-31
キーワードチタン酸バリウム / 薄膜 / 誘電率 / 透過型電子顕微鏡 / 歪み
研究成果の概要

本研究の対象である強誘電体BaTiO3はコンデンサーを形成する為の主材料である。このコンデンサーの要望として高誘電率かつ高温領域まで使用できる材料開発が望まれている。本研究では、BaTiO3薄膜に着目し、透過型電子顕微鏡を用いて欠陥構造を解析を実施、薄膜中の組成を精緻に制御することで過去に報告されてきたBaTiO3薄膜よりも大きな誘電率(室温では2000、Tc近傍で10,000)を達成した。これらの結果は、高誘電率BaTiO3薄膜を作製する上で重要な研究指針を示す成果であると結論付けられる。

自由記述の分野

電子顕微鏡による材料の微細構造解析

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公開日: 2017-05-10  

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