| 研究概要 |
本年度の研究計画に従い、以下の項目について研究開発を行ない当初の目標を達成することができた。
1 アンテナ結合形低損失広角Y分岐光回路の設計論の確立
2 【III】-【V】族化合物半導体へのキャリア注入による光機能デバイス実現可能性の調査
3 ECRエッチング装置による石英,ニオブ酸リチウムの微細エッチング
4 光の伝搬方向に屈折率分布が連続的に変化するモード整合素子のファイバ型による実現
5 実用的な光スイッチング・位相変調素子としてPLZTの提案とその方式の検討
6 短い区間で光の伝搬方向を大きく変えられる全反射形折れ曲り導波路の開発
上記項目の具体的成果として、1に関しては動作メカニズムに基づく設計論を確立し、その特徴を活かせる構造を考案した。現在実験的な検討を行なっている。2に関しては理論的に高機能デバイスが可能であることが分かり、現在半導体薄膜製造装置による試作準備中である。3に関しては石英及び光変調器用ニオブ酸リチウムともに微細なエッチングが可能になった。現在素子への応用をはかっている。4に関してはタリウム入りBK7ガラスを用いてプリフォームを作製し、独自のガラス線引技術を駆使してファイバ化に成功し、良好な素子を得ることができた。5に関しては従来実用性に欠けていたスイッチング素子に対してPLZTを用い、かつこれを微小化する方式を考案した。6に関しては、考案した全反射形曲りが従来の折れ曲りに対して2ケタ近くも低損失にできることを明らかにし、また基礎的な実験によってもその有効性を裏付けることができた。
|
