| 研究概要 |
炭酸ガスレーザ光を伝送することを目的として開発されている誘電体内装金属中空導波路の新しい製作法と応用について、次のような事が明らかになった。
1.誘電体内装導波路の新しい製作法
(1)高周波スパッタリング法による内装導波路の製作
本手法で製作する場合、低損失化を妨げる大きな原因は、電気めっき法にある事に着目し、めっき応力について検討した結果、高応力めっき洛が低損失化に有利である事を見出した。また、従来、金属としてニッケルを用いていたが、銀の薄膜を高周波スパッタリングで形成し、その後、導波路の補強の為にニッケルめっきを行なった。真空薬着法についても検討した。
(2)ゲルマニウムめっきによる内装導波路の製作
プロピレングリコール中の7vol.%の四塩化ゲルマニウム溶液を浴とし、アノードに白金緑を用いることで、やや内径の大きなパイプ内にゲルマニウムを内装する技術を確立し、導波路を得た。特性も良好であった。
(3)ガラス線【P_1】法による内装導波路製作の基礎研究
ゲルマニウム,硫黄からなるガラスを合成した。ロッキング炉で合成する場合の合成時間,クエンチ法,撹拌法についての知見を得た。
(4)陽極酸化法を用いる内装導波路製作の基礎研究
アルミニウムの陽極酸化を用いてアルミナ薄膜形成の検討を行なった。薄膜の形成速度は非常に大きい事を見い出した。損失の測定も行なった。
2.薄膜内装導波路型レーザの試作
内装導波路の1つの応用として、内装導波路を用いて導波路型レーザを構成した。理論的にも、実験的にも、従来のレーザに比較し、出力が大幅に増大し得ることを示した。
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