| 研究概要 |
薄膜磁気ヘッドの高精度加工を行うため、60年度科学研究補助金により高精度空気軸受をもつ砥石軸、および静圧油圧摺動台をもつティルティング方式研削装置を試作した。61年度はこれらの装置により、薄膜磁気ヘッド用材料として使用されるZr【O_2】などの難削硬脆材料の研削条件について研究し、次の事項を明確にした。
1.Zr【O_2】などのセラミック材料をレジンボンドダイヤモンド砥粒で加工したとき、比研削エネルギは被研削材料の破壊靭性値と硬度に比例して大きくなり、研削比、加工能率を大きくするにはチッピングによる切粉排出が多くなるように高切込みで研削するのがよい。
2.高切込みによる加工面のクラック層を除去するには、#800以上の微粒砥石で40μm以上除去する必要があり、これにより強度低下を防止できる。
3.砥石側面に受ける研削抵抗が切込み深さとともに増大し、砥石軸が曲げられ加工精度が大幅に低下するのを防止するため、本研究課題として前年度に試作した砥石軸ティルティング装置により、切り込む毎に砥石を軸方向に振り、砥石両側面で交互に研削する方法をとり、その効果を確認した。
4.ティルティング方式により、切断面のうねりが急激に小さくなることを確認し、2μm/45mm以下に低減することができた。また、先に検討した高切込みに対し、本方式では試作したシーケンス制御により、多段切込みと高速送り方式を敢えて採用し、実験検討の結果高能率研削が可能となり、従来の20【mm^2】/min(切り込み4mm,テーブル速度5mm/min)に対し、180【mm^2】/min(切り込み10μm,テーブル速度18m/min)に向上することができた。
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