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1986 年度 研究成果報告書概要

超精密加工機械案内面のうねり形状測定における高精度化と迅速化に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 60550080
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 機械工作
研究機関東北大学

研究代表者

清野 慧  東北大, 工学部, 助教授 (40005468)

研究期間 (年度) 1985 – 1986
キーワード形状測定 / 真直度 / 平面度 / 精密水準器 / 2点法 / 3角形連鎖法 / ディジタルフィルタ
研究概要

61年度は、傾斜計をよりコンパクトにすることを検討した。また、従来から知られている連鎖法や遂次2点法も含めた一般的な形で、提案した2点法を検討し、縦分解能,空間周波数分解能などを明らかにした。得られた結果の要点を以下に述べる。
1.光源を発光ダイオードから半導体レーザに置き換え、よりコンパクトで高精度の傾斜計を目標に新たに光電式の傾斜計を作成してみた。その結果、光学系の扱いが簡単になり、傾斜計自身もコンパクトにすることが可能であること、比較的容易に反転測定の可能な水準器を作成しうることが確認できた。
2.しかし、入手しうる安価な半導体レーザでは光源としての安定性が不足し、結果的には発光ダイオードの場合と同程度の分解精度しか得られなかった。よりコンパクトで高精度の精密傾斜計の作成は今後の課題である。
3.従来用いられてきた連鎖法,遂次2点法も足幅とサンプリング間隔を完全に一致させる必要はなく、1〜2割の違いが両者の間にあってもほとんど誤差を生じないことを示した。また、このことは、先に示した3角計連鎖の平面度測定にも適用できる。ただし、サンプリング間隔の2倍以下の波長の周波数成分の存在する場合は、折り返しの誤差をまぬかれないという難点は厳密な遂次連鎖法と同様である。

  • 研究成果

    (5件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (5件)

  • [文献書誌] 清野慧: 精密工学会誌. 53-5. (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 清野慧: 精密工学会誌.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 清野慧: 昭和62年精密工学会春季大会学術講演会論文集.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Satoshi Kiyono: "Research for measuring method of waviness of flat planes (1st. Report)" Journal of the Japan Society of Precision Engineering. 53-5. (1987)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Satoshi Kiyono: "Research for measuring method of waviness of flat planes (2nd Report)" Journal of the Japan Society of Precision Engineering.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 1988-11-09  

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