| 研究課題/領域番号 |
60850022
|
|---|
| 研究種目 |
試験研究
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
機械工作
|
|---|
| 研究機関 | 東京大学 |
|---|
研究代表者 |
谷 泰弘 東大, 生産技術研究所, 助教授 (80143527)
|
|---|
| 研究分担者 |
池野 順一 東京大学, 生産技術研究所, 助手 (10184441)
仙波 卓弥 福岡工業大学, 電子機械工学科, 講師 (30154678)
河田 研治 タイホー工業(株), 中央研究所, 研究員
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1985 – 1986
|
| キーワード | 磁性流体 / 表面仕上 / 研磨機械 / 磁気浮揚 / 研磨特性 / 研磨加工 |
|---|
| 研究概要 |
磁性流体に非磁性体の砥粒を懸濁し、これに磁場を作用させれば、砥粒を磁性流体の上層に浮揚させることができる。この浮揚した砥粒に加工物を押してあれば、達成される精度のわりには能率の高い加工を実現できる。
本研究においては、磁性流体を用いたこの磁気浮揚研磨法による高能率研磨装置を開発することを目的として、研究を行った。まず、従来報告されている磁気を利用した研磨法について調査を行い、次にその中における磁気浮揚研磨法の位置付けを明確にし、磁気浮揚研磨法の加工特性について整理を行った。この結果をもとに研磨装置の検討を行った。さらに、磁気浮揚研磨法の高能率化のために、加工圧を目安として種々の検討を行った。その結果
(1)磁場を援用した研磨法には、磁性研磨材を使用した加工法と、磁性流体を利用した研磨法が報告されており、また磁性流体を利用した研磨法には、その磁気吸着現象と磁気排出現象を応用した加工法がそれぞれ存在することが判明した。
(2)磁気浮揚研磨法の加工特性は、加工域の磁場勾配と混合液の粘度、砥粒と磁性流体との親和性により、大きく影響を受けることが判明した。
(3)磁気浮揚研磨法を実現する磁場の発生源としては、永久磁石を使用すべきであることが判明した。また、この時には研磨装置の構造としても単純で軽量化が図れることが判明した。
(4)磁気浮揚研磨法の高能率化のために加工圧を上げることを検討した結果磁気浮揚研磨法で生成される粘土層(液体ボンド砥石)のみを取り出しこれをラップ砥石として定圧切込み方式の研磨を行えばよいことが判明した。
|
