| 研究概要 |
計画調書に記載した60年度研究計画の項目ごとに実績を報告する。
(研究発表目録は関連研究論文である)
1・エッチング・チェンバーの設計と試作(外崎,松尾,鷲岳)
(1)He冷凍ポンプの実用能力の試験と型式の選定
検討の結果,アルバック・クライオ社製のCRYO-U6型を選定した。
(2)高真空用シール系の実施設計
当初高真空用メタルシールの採用を計画していたが、既設本体部分とエッチング・チェンバーの連絡部分が従来のバイトン○-リングとならざるを得ず、したがって全てのシール系をそれに合わせることにした。
(3)試料交換棒の機構と可動部分シールの実施設計
エッチング・チェンバーを本体の後部に接続し、He冷凍ポンプを水平位に設置することとした。したがって試料交換棒の延長が680mm、直径8.0mmと決められ、細部の実施設計が行われた。
(4)現有の真空蒸着装置(JFD-7000)との結合工事
61年2月28日、エッチング・チェンバーおよび附属装置の加工が終了し、山形大学医学部解剖学第一講座内において試運転を開始した。3月17日現在エッチング・チェンバーの真空度は3×【10^(-8)】Torr、中心トラップの温度20Kを達成している。
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