研究分担者 |
岡本 耕輔 日本真空株式会社, 技術部, 技師長
岩本 雅民 三菱電機株式会社, 中央研究所, 部長
橘 英三郎 大阪大学, 工学部, 助手 (80029165)
戸田 三郎 東北大学, 工学部, 助教授 (60005387)
西川 雅弘 大阪大学, 工学部, 助教授 (50029287)
IWAMOTO Masatami MITSUBISHI Electric Corp., Central Research Laboratory, Manager
OKAMOTO Kousaku ULVAC, Head Director
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