光及び電子音響スペクトロスコピーの研究

1986 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 61104002
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 御子柴 宣夫 東北大, 電気通信研究所, 教授 (70006279)
• 研究分担者: 畑 朋延 金沢大学, 工学部, 教授 (50019767) ; 中島 信一 大阪大学, 工学部, 助教授 (20029226) ; 柊元 宏 東京工業大学, 工学部, 教授 (50013488) ; 生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118) ; 川端 昭 京都大学, 工学部, 教授 (80025832)
• キーワード: 光音響スペクトロスコピー / 電子音響スペクトロスコピー / 光・熱放射顕微鏡 / 電子線超音波顕微鏡 / 光・熱偏向顕微鏡 / 相関光響分光法

研究概要

固体材料の新しい評価法として光及び電子音響スペクトロスコピーが注目されている。本研究では、材料及びデバイス評価技術としての光及び電子音響スペクトロスコピーの基礎の確立を目的とし、研究サブセンター構想を中心に系統的かつ広範囲な研究を行なった。研究サブセンター及び各研究分担者において、下記にあげる研究成果が達成された。
(1)研究サブセンターでは、紫外から赤外領域にわたる光源と広帯域光変調器を備えた光ビーム走査型音響スペクトロメータ、及び電子ビーム変調機能を備えた電子ビーム走査型音響スペクトロメータが完成している。
(2)研究分担者: 東北大学では、色素レーザ光を用いた光・熱放射顕微鏡を用いてInドープ無転移n型GaAsウエハの微少欠陥の非接触非破壊観察を行なった。
東京大学では、電子線超音波顕微鏡を用いてSEMでは見えないSi-ICの表面下のクラックを観察した。
京都大学では、レーザ加工の際に出る音波をPASを用いて検出した。
東京工業大学では、マイクロホンやトランスジューサを用いたPASによりZnS,ZnSeSonGaAsのPAS信号について半導体表面のポテンシャルがきくことを明らかにした。
大阪大学では、光音響顕微鏡を開発し、Siレーザアニール層をモニタした。
金沢大学では、光熱偏向顕微鏡を開発し、a-SiH:Nの吸収係数をα=10【cm^(-1)】まで測定できる装置を開発した。
その他の分担者においては、マイケルソン干渉法を用いたPASの開発、相関光音響分光法の開発、水中光音響信号計測用セルの開発、EAMによる表面波発生の理論の完成をおこなった。

研究成果

• [文献書誌] Nobuo Mikoshiba;Hiromichi Nakamura;Kazuo Tsubouchi: 1984 Ultrasonics Symp.(IEEE,New Yotk,1984). 84CH2112-1. 651-655 (1984)
• [文献書誌] Hiromichi Nakamura;Kazuo Tsubouchi;Nobuo Mikoshiba;Tsuguo Fukuda: Jpn.J.Appl.Phys.24. L876-L879 (1985)
• [文献書誌] Hiromichi Nakamura;Kazuo Tsubouchi;Nobuo Mikoshiba: 17th.Conf.Solid State Devices and Materials,Tokyo. 26-27 (1985)
• [文献書誌] Nobuo Mikoshiba;Hiromichi;Nakamura;Kazuo Tsubouchi: 1985 Ultrasonics Symp.(IEEE,New York,1985). 85CH2209-5. 436-439 (1985)
• [文献書誌] Hiromichi Nakamura;Kazuo Tsubouchi;Nobuo Mikoshiba: Proc.of 5th Symp.on Ultrasonic Electronics,Tokyo,1984 Jpn.J.Appl.Phys.-124Suppl.24. 222-224 (1985)
• [文献書誌] 御子紫宣夫,中村弘通,坪内和夫: 応用物理. 54. 483-487 (1985)
• [文献書誌] Nobuo Mikoshiba;Yoshikazu Akutsu;Hiromichi Nakamura;Kazuo Tsubouchi;Motohiro Hosokawa: 1986 Ultrasonics Symp.(IEEE,New York,1986). (1986)
• [文献書誌] Nobuo.Mikoshiba;Kazuo.Tsubouchi,: The China-Japan Joint Conference on ULTRASONICS(11-14 May 1987,Nanjing). (1987)
• [文献書誌] Tadashi Shiosaki;Masatoshi Adachi;Hiroshi Kobayashi;Kenji Araki;Akira Kawabata: Jan.J.Appl.Phys.Suppl.22-2. 77-79 (1983)
• [文献書誌] Masatoshi Adachi;Tadashi Shiosaki;Akira Kawabata: Jpn.J.Appl.Phys.Suppl.24. 72-75 (1985)
• [文献書誌] Tadashi Shiosaki;Akira Kawabata: Abstracts of the 3rd U.S.:Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics. 11-12 (1986)
• [文献書誌] Tadashi Shiosaki;Masatoshi Adachi;Akira Kawabata: to be pudlished in Proc.of 1986 IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics. (1987)
• [文献書誌] Tadashi Shiosaki;Hiroshi Masuda;Masatoshi Adachi;Akira Kawabata: to be published in Jpn.J.Appl.Phys.(1987)
• [文献書誌] T.Ikoma;M.Murayama;K.Morizuka: Jpn.J.Appl.Phys.23. 194-196 (1984)
• [文献書誌] 生駒俊明,田中潤一: 材料技術. 3. 14-23 (1985)
• [文献書誌] T.Hiramoto;Y.Mochizuki;T.Saito;T.Ikoma: Jpn.J.appl.Phys.24. L921-L924 (1985)
• [文献書誌] Toshiro Hiramoto;Toshio Saito;Toshiaki Ikoma: Jpn.J.appl.Phys.Part 2 Letters. 24. L193-L195 (1985)
• [文献書誌] T.Hiramoto;Y.Mochizuki;T.Ikoma: Jpn.J.appl.Phys.25. L830-L832 (1986)
• [文献書誌] 望月康則,生駒俊明: 日本結晶学会誌. 28. 103-113 (1986)
• [文献書誌] T.Yasuda;J.Yoshino;H.Kukimoto: Jpn.J.Appl.Phys.(1987)
• [文献書誌] Masanori Hangyo;Shin-ichi Nakashima;Shigeki Sugimoto;Tsutomu Yamaguchi;Akiyosyi Mitsuishi: Jpn.J.Appl.Phys.25. 376-379 (1986)
• [文献書誌] Shin-ichi Nakashima;Yasuo Inoue;Akiyoshi Mitsuishi: J.Appl.Phys.56. 2989-2992 (1984)
• [文献書誌] i Nishimura;Yoichi AkasakaShin-ichi Nakashima;Kohji Mizoguchi;Yasuo Inoue;Michihiro Miyauchi;Akiyoshi Mitsuishi;Tadashi: Jpn.J.Appl.Phys.25. L222-224 (1986)
• [文献書誌] Tomonobu Hata;Yasushi Sato;Yoshiaki Nagai;Toshio Hada: Jpn.J.Appl.Phys.23 Suppl.75-77 (1984)
• [文献書誌] Tomonobu Hata;Tsuguyasu Hatsuda;Makoto Kawakami;and Yasushi Sato: Jpn.J.Appl.Phys.24 Suppl.204-206 (1985)
• [文献書誌] Tomonobu Hata;Tsuguyasu Hatsuda;Thoru Komatsu: Jpn.J.Appl.Phys.24. 1463-1466 (1985)
• [文献書誌] Tomonobu Hata;Tsuguyasu Hatsuda;Tohru Miyabo;Seiichi Hasegawa: Jpn.J.Appl.Phys.25 Suppl.226-228 (1986)
• [文献書誌] Tomonobu Hata;Tohru Miyabo;Ken'ichi Yago: Jpn.J.Appl.Phys.26 Suppl.(1987)
• [文献書誌] Ikuo Suemune;Hiroaki Yamanoto Masamichi Yamanishi: J.Appl.Phys.58. 615-617 (1985)
• [文献書誌] Ikuo Suemune;Hiroaki Yamanoto;Kazutoshi Yukutake;Masamichi Yamanishi: Jpn.J.Appl.Phys.Suppl.24-1 24. 201-203 (1985)
• [文献書誌] Hiroaki Yamamoto;Ikuo Suemune;Masamichi Yamanishi: J.Appl.Phys.60. 2621-2623 (1986)
• [文献書誌] Ikuo Suemune;Hiroaki Yamamoto;Norio Uesugi;Masamichi Yamanishi: Proc.of Intenational Conf.on Semi-Insulating III-V Materials. 445-450 (1986)
• [文献書誌] Ikuo Suemune;Norio Uesugi;Hiroaki Yamamoto;Masamichi Yamanishi: Proc.of 18th International Conference on the Physics of Semiconductors. (1987)
• [文献書誌] Ikuo Suemune;Norio Uesugi;Yasuo Kan;Masamichi Yamanishi: Jpn.J.Appl.Phys.(Letters). 26. (1987)
• [文献書誌] Akinori Uejima;Yoshinori Sugitani;Kozo Nagashima: Analytical Sciences. 1. 5-8 (1985)
• [文献書誌] 羽広昌信,杉谷嘉則,長島弘三,加藤健次,小島益生: 分析化学. 34. 478-482 (1985)
• [文献書誌] Akinori Uejima;Yoshinori Sugitani: Chemistry Letters. 1985. 397-400 (1985)
• [文献書誌] 八重樫満,糸賀富美男,杉谷嘉則: 分析化学. 34. 772-776 (1985)
• [文献書誌] Akinori Uejima;Fumio Itoga;Yoshinori Sugitani: Analytical Sciences. 2. 113-117 (1986)
• [文献書誌] Akinori Uejima;Masanobu Habiro;Fumio Itoga;Yoshinori Sugitani;Kenji Kato: Analytical Sciences. 2. 389-390 (1986)
• [文献書誌] Masanobu Habiro;Yoshinori Sugitani: Analytical Sciences. 3. 3-5 (1987)
• [文献書誌] Tsuguo Sawada;Yohichi Gohshi;Tomoharu Watanabe;Keiichi Furuya: Jpn.J.Appl.Phys.24. 938-940 (1985)
• [文献書誌] Masanobu Kasai;Tsuguo Sawada;Yohichi Gohshi;Tomoharu Watanabe: Jpn.J.Appl.Phys.25. 229-231 (1986)
• [文献書誌] Takehiko Kitamori;Kazumichi Suzuki;Tsuguo Sawada;Yohichi Gohshi: Anal.Chem.58. 2275-2278 (1986)
• [文献書誌] Takehiko Kitamori;Masaaki Fujii;Tsuguo Sawada;Yohichi Gohshi: J.Spectrosc.Soc.Jpn.34. 359-365 (1985)
• [文献書誌] Takehiko Kitamori;Kazumichi Suzuki;Tsuguo Sawada;Yohichi Gohshi: Bunko-Kenkyu. 35. 478-482 (1986)
• [文献書誌] Atsuyoshi Yoshinaga;Tsuguo Sawada;Yohichi Gohshi: Anal.Chem.
• [文献書誌] Masanobu Kasai;Akira Harata;Tsuguo Sawada;Yohichi Gohshi: Jpn.J.Appl.Phys.
• [文献書誌] Akira Harata;Tsuguo Sawada;Yohichi Gohshi: Jpn.J.Appl.Phys.
• [文献書誌] Takehiko Kitamori;Kazumichi Suzuki;Tsuguo Sawada;Yohichi Gohshi: Anal.Chem.
• [文献書誌] Kazuhiko Yamanouchi;Satoshi Kuod;Yasuo Wagatsuma: Jpn.J.Appl.Phys.Suppl.24. 191-193 (1984)
• [文献書誌] 山之内和彦,大久保良久: 電子通信学会1987年春季講演論文集. (1987)
• [文献書誌] 徳永史生: 蛋白質.核酸.酵素. 32. 66-69 (1986)
• [文献書誌] Takeda,K.: Photobiochem.Photobiophpys.(1987)
• [文献書誌] Ohyama,T.: J.Exp.Biol.125. 405-409 (1986)
• [文献書誌] Yamana,K.: J.Exp.Biol.126. 297-314 (1986)
• [文献書誌] Maeda,A.: Biochemistry.25. 2798-2803 (1986)
• [文献書誌] Monoi,H.: Ann.Appl.Inform.Sci.12. (1987)
• [文献書誌] Monoi,H.: Ann.Appl.Inform.Sci.(1987)
• [文献書誌] 生駒俊明: "「電子材料測定評価ハンドブック¨分担課題「電子線超音波顕微鏡(EAM)による材料評価¨" リアライズ社, 423 (1985)
• [文献書誌] 生駒俊明,長谷川文夫 監修生駒俊明: "半導体材料の欠陥評価技術" サイエンス・フォーラム社, 419 (1985)
• [文献書誌] 折井豊: "血色素の分子生理と分子病理" 共立出版, (1987)
• [文献書誌] Kitagawa,T.: "Spectroscopy of Biological Systems" Wiley, (1986)
• [文献書誌] Makino,M.: "Methods in Enzymology,Vol 123" Academic Press, (1986)
• [文献書誌] Nagata,C.: "Biomolecules-Electronic Aspects-" Elsevier, (1985)
• [文献書誌] 鈴木英雄: "情報生物学入門-刺激の受容からイオンチャンネルの開閉まで-" 培風館, (1986)
• [文献書誌] 徳永史生: "生体分子系を測る" 日本生物物理学会編, (1986)
• [文献書誌] 前田章夫: "視覚" 化学同人, (1986)
• [文献書誌] 前田章夫: "新生理学体系第3巻" 医学書院, (1986)
• [文献書誌] Orii,Y.: "Advances in Membrane Biochemistry and Bioenergetics" Elsevier, (1987)