| 研究課題/領域番号 |
61302037
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| 研究機関 | 東京都立大学 |
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研究代表者 |
古川 勇二 都立大, 工学部, 教授 (10087190)
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| 研究分担者 |
諸貫 信行 東京都立大学, 工学部, 助手 (90166463)
大石 進 東京都立大学, 工学部, 助教授 (70094258)
堤 正臣 東京農工大学, 工学部, 助教授 (90108217)
谷 秦弘 東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (80143527)
森脇 俊道 神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)
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| キーワード | 新素材 / セラミクス / レジンコンクリート / リニアモータ / 電歪素子 / 送り機構 / 異方性エッチング |
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| 研究概要 |
ナノメータオーダの精度の超精密加工を支える次世代の工作機械設計技術として、ファインセラミクス,レジンコンクリート,電歪素子などの新素材の応用を検討し、具体的には以下に示すような研究を行った。
1.レジンコンクリートをナノ機構のベースにする場合の、剛性、制振特性等の観点からみた問題点を検討した。また新素材を用いる場合、異種材料との接合部における熱変形問題が無視しえないが、ここではアルミナセラミクスとの組合わせについて検討を加えた。これらの基礎的な特性は次年度の実験で明らかにする。
2.アルミナ,ジルコニア等のファィンセラミックスを摺動材料に適用する場合の問題点も検討した。すなわち、摺動安定性(スティックスリップの発生)、摩擦係数特性、耐摩耗性等について実験的に検討した。
3.リニアモータを精密送りに適用する場合の制御技術について検討した。位置決め分解能や速度制御性等についての具体的な問題点は、次年度の実験で明らかにする。
4.単結晶シリコンの異方性エッチングによる超精密加工技術として、エッチング機構の基礎特性の解明を行った。すなわち、簡単なパターンによるエッチング実験によって、形状精度を考慮したエッチング条件を検討した。実験結果は現在整理中。
5.電歪素子を超精密送り機構に適用する場合の、印加電圧と変位出力の非線形性とヒステリシスという問題について、制御による補正(オープンループとクローズドループ)を検討し、さらに実例をもってその妥当性を検証した。すなわち、電歪素子を利用した工具送り機構により、測定さえ困難な微少切込み(ナノメータオーダ)を実現できることを実証した。
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