無機材料の新しい合成プロセスと機能評価

1986 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 61303009
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 金丸 文一 阪大, 産業科学研究所, 教授 (40029848)
• 研究分担者: 平井 敏雄 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (50005865) ; 久米 昭一 大阪大学, 教養部, 教授 (00029604) ; 宮本 欽生 大阪大学, 産業科学研究所, 助教授 (60107084) ; 小泉 光恵 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (80029826) ; 河合 七雄 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (60127214)
• キーワード: CVD / 光CVD / プラズマCVD / rf-スパッタ蒸着 / 噴霧熱分解法 / ゾル-ゲル法 / 水熱合成 / 融液超急冷 / 超高圧合成 / インターカレーション / セラミックスの新合成法 / ダイヤモンド / 人工格子

研究概要

各研究分担者は、気相反応プロセス,液相反応プロセスおよび固相反応プロセスの3研究グループのなかの一つに属して、それぞれの研究課題について相互の連絡を取りながら共同研究を進めており、その成果は総合討論会において発表・討議された。以下に各グループにおける主な成果を述べる。
(1)気相反応プロセス:化学反応蒸着法(CVD),光CVD,プラズマCVDおよびスパッタ蒸着法などによる酸化物(β-アルミナ,ZrO-【Al_2】【O_3】ガラス)や非酸化物(ダイヤモンド,カーバイド,ナイトライド,カルコゲナイド)の薄膜作成において、各反応プロセスの解析,装置の改良,作成条件の確立などが行われ、多光子吸収による膜形成,人工格子の超微構造,複合膜の界面現象などに関し、多くの新しい知見を得ている。
(2)液相反応プロセス:噴霧熱分解法やゾルゲル法(アルコキシド加水分解)による酸化物(Zr【O_2】,【Zr_1】Ti)【Sn_2】【O_4】,ITO)の形態制御(超微粉,繊維,薄膜)に関する基本的に重要な幾つかのポイントの解明を行うとともに、融液超急冷法などの非平衡反応プロセスのセラミックスへの応用が試みられ、新物質(イオン導電体)の合成および特性が明らかにされた。また水熱条件下における反応プロセス解析(SiC,CaC【O_3】)も大きな成果の一つである。
(3)固相反応プロセス:超高圧下における結晶成長機構の解析と制御(ダイヤモンド),新物質合成(斜方Zr【O_2】),さらにHIP-溶射(TiC)やHIP-自己燃焼(【Si_3】【N_4】)などの複合プロセスの開発が行われた。ホスト(黒鉛,ZrNCI)-ゲスト化合物では、インターカレーションを利用した電気機能材料の開発とともに、選択的なイオン吸着機能を持つ層状化合物(【A_2】OnTi【O_2】,(Mg,Al)(【(OH)_2】)に関しても研究が進められ、pHと吸着機構の解明,陰イオン吸着が選択的に行える新材料の開発が行われている。

研究成果

• [文献書誌] 谷俊彦: 窯業協会誌. 94-1. (1986)
• [文献書誌] K.Akashi: J.Korean Inst.Metals. 24. (1986)
• [文献書誌] Y.Bando: Bull.Chem.Soc.Jpn.59. (1986)
• [文献書誌] T.Terashima: J.Appl.Phys.56NO.12. (1984)
• [文献書誌] K.Niihara: 窯業協会誌. 94. 146-148 (1986)
• [文献書誌] T.Goto: J.Mater.Sci.18. 393-390 (1983)
• [文献書誌] M.Tatsumisago: 窯業協会誌. 94. (1986)
• [文献書誌] M.Tatsumisago: 窯業協会誌. 95. (1987)
• [文献書誌] S.Sakka: Journal of Non-Crystalline Solids. 73. 651-660 (1985)
• [文献書誌] S.Sakka: XIV International Congress of Glass. 2. 218-223 (1986)
• [文献書誌] S.Somiya: J.Mater.Sci.lett.4. (1985)
• [文献書誌] M.Yoshimura: J.Mater.Res.1. (1986)
• [文献書誌] S.Hirano: Advances in Ceramics. 15. 65-71 (1986)
• [文献書誌] S.Hirano: J.Mater.Sci.21. 1951-1955 (1986)
• [文献書誌] 加藤昭夫: 日本化学会誌. (1985)
• [文献書誌] A.Kato: The Memoirs of the Faculty of Engineering. 45. (1985)
• [文献書誌] R.Yoshida: Bull.Chem.Soc.Jpn.59. (1986)
• [文献書誌] T.Furusaki: Mat.Res.Bull.21. (1986)
• [文献書誌] T.Asai: Solid State Ionics. 20. (1986)
• [文献書誌] K.Kitahama: Appl.Phys.Lett.49. (1986)
• [文献書誌] 中重治: 窯業協会誌. 94. (1986)
• [文献書誌] K.Higuchi: Advanced Ceram.Mater. 1. (1986)
• [文献書誌] M.Kamo: J.Cryst.Growth. 62. (1983)
• [文献書誌] 加茂睦和: 日本化学会誌. 10. (1984)
• [文献書誌] N.Soga: J.Soc.Mater.Sci.Jpn.35,389. 113-137 (1986)
• [文献書誌] K.Tanaka: Bull.Chem.Soc.Jpn. 59,4. 1079-1085 (1986)
• [文献書誌] J.Yoshimura: Rep.Fac.Eng.Yamanashi Univ.36. (1985)
• [文献書誌] M.Hosaka: J.Crystal Growth. 75. (1986)
• [文献書誌] K.Ando: J.Nucl.Mat.136. 186-191 (1985)
• [文献書誌] K.Ando: Yogyo-Kyokai-Shi. 94. 732-736 (1986)
• [文献書誌] S.Yamanaka: Mat.Res.Bull.19. 161-168 (1984)
• [文献書誌] M.Hattori: J.Colloid & Interface Sci.107. 267-268 (1985)
• [文献書誌] M.Inagaki: Z.anorg.allg.Chem.527. 193-202 (1985)
• [文献書誌] M.Inagaki: J.Am.Ceram.Soc.68. 704-706 (1985)
• [文献書誌] R.Suyama: Commun.Am.Ceram.Soc.68-9. 237 (1985)
• [文献書誌] R.Suyama: Commun.Am.Ceram.Soc.68-12. 314-315 (1985)
• [文献書誌] Y.Miyamoto: J.Mater.Res.1. (1986)
• [文献書誌] Y.Miyamoto: phys.stat.sol.95. (1986)
• [文献書誌] T.Sato: J.Am.Ceram.Soc.68. 356-359 (1985)
• [文献書誌] M.Shimada: Am.Ceram.Soc.Bull.65. 1153-1155 (1986)
• [文献書誌] K.J.Takano: J.J.A.P.23. L559-L561 (1984)
• [文献書誌] M.Wakatsuki: Physica. 139&140B. 256-258 (1986)