• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

1987 年度 実績報告書

高分解能X線顕微鏡製作のための基礎研究

研究課題

研究課題/領域番号 61400005
研究機関大阪大学

研究代表者

有留 宏明  大阪大学, 極限物質研究センター, 助教授 (70029552)

研究分担者 山下 廣順  大阪大学, 理学部, 助教授 (80022622)
中井 貞雄  大阪大学, 工学部, 教授 (10029019)
三井 利夫  大阪大学, 基礎工学部, 教授 (70000726)
佐々木 泰三  大阪大学, 基礎工学部, 教授 (60012233)
難波 進  大阪大学, 基礎工学部, 教授 (70029370)
キーワードX線顕微鏡 / X線光学 / 超微細加工
研究概要

実時間観測方式の高分解能X線顕微鏡製作のために, レーザープラズマX線源を用いた結像方式について実験的検討を行なった.
X線画像検知システムとしては, S61年度に購入したホトニックマイクロスコープシステムをX線パルスによって動作できるように改造を行なった. また, トリガー回路を付加し, さらにコンピューター制御式とし, このためのプログラムを製作した. X線検出器としては, マイクロチャネルプレートを用いた. このシステムを用いることにより, 33msの時間分解能でX線画像を観測可能となる.
上記を検証するため, レーザープラズマX線源:激光IV号(大阪大学レーザー核融合研究センター設置)を用いて画像検出実験を行なった. X線発生のための元素としてAuを用いた. レーザー波長0.53μm, パルス幅0.4ns レーザーエネルギー20Jの条件で実験を行なった. S61年度のシンクロトロン放射X線源での実験から, 用いたX線検出器は波長30Åにおいて【less than or similar】10^<14>ph/s・cM^2の感度を有していることがわかっている. 上記検出器を用いて金属メッシュのX線透過像を検出することができた. 検出限界はレーザーエネルギーが 1.6丁のときであった. これはX線強度6×10^<19>ph/s・cm^2に相当する. この値はシンクロトロン放射の場合と比較して約6桁感度が悪い. これは検出器マイクロチャンネルプレートの螢光体の時間応答特性を考慮するとうまく説明できる. さらに, より小型, 高繰り返しのレーザープラズマX線源の開発を行った. もう2桁感度の高いマイクロチャンネルプレートと, S61年度に制作したゾーンプレートを組み合わせることにより, 実時間観測方式結像型X線顕微鏡のシステムを組立て, システムとしての評価をすべく, 現在進めている.

  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] H. Aritome: Proceedings of SPIE. 733. 440-448 (1987)

  • [文献書誌] T. Mochizuki: Proceedings of SPIE. 773. 246-256 (1987)

  • [文献書誌] H. Aritome: Proceedings of the International Symposium on X-Ray Microscopy. SPRINGER VERLAG. (1988)

  • [文献書誌] 広瀬全孝編 有留宏明: "次世代超LSIプロセス技術 第8章X線源" リアライズ社, (1988)

URL: 

公開日: 1989-03-30   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi