| 研究概要 |
前年度報告したように, 昭和61年12月8日, 日立S-800特型走査電子顕微鏡が搬入された. 本年度は電子顕微鏡の試料槽(分析槽)を超高真空化する作業も進めた. 超高真空化に当って, 次の各部を設計製作する必要があった.
1)試料槽本体のステンレス化と超高真空フランジ取り付け, および超高真空ポンプの取り付け.
2)超高真空試料マニピュレーターの製作
3)電子レンズ可動シボリの改造
4)2次電子検出部の改造
5)反射高速電子回折スクリーンの取り付け
6)上記改造に伴う電子コントロール系の改造
昭和63年3月現在, 上記の改造をほんんど終了し, 目下組立て作業を行っている. 今後, 本装置の調整作業を進め, 数ケ月後には本実験が開始できる予定である.
また, オージェ電子回折装置も若干の改造を加え, 上記1)の試料槽本体に組み込んだ.
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