| 研究概要 |
(1)、流量測定範囲0.1ml/min〜3ml/min,圧力損失85mmAg,線形性13%,再現性±10%の極微少ガス流量センサを製作することができた。
(2)、本センサの磁性流体内を気泡を通過させ磁性流体の磁束およびインダクタンス制御特性の測定として励磁周波数をパラメータとして気泡によって生じた出力電圧対起磁力特性,出力周波数(気泡数)対起磁力特性の測定結果から、気体流量は気体発生周波数と出力電圧の最大値の積で定まることが明らかとなった。
(3)、本センサは、ガス流量が連続発生するものより単発発生をする極微少ガス流量用とした用途が望ましいことが明らかとなった。
(4)、磁性流体濃度および磁性流体量による圧力損失は磁性流体の容器の高さを考慮することによりほとんど問題とならないことが明らかになった。
(5)、磁性流体の容器形状を検討することにより、磁性流体形状と見掛透磁率について明らかにできた。
(6)、出力電圧対起磁力および励磁周波数特性,流量対出力電圧および気泡数特性等の測定結果から本センサの動作解析を行い、流量が0.1ml/minまで適応できることが了解された。
(7)、以上の結果を踏えてデジタル出力型の流量センサの開発を行っている。
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