| 研究課題/領域番号 |
61850138
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
二瓶 好正 東大, 生産技術研究所, 助教授 (10011016)
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| 研究分担者 |
八幡 需 日本電子(株), 分析機器技術本部, 本部長
尾張 真則 東京大学, 生産技術研究所, 助手 (70160950)
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| キーワード | 電子分光器 / トロイダル型アナライザー / エネルギー分布 / 角度分布 / 多チャンネル同時計測 / 位置敏感検出器 / X線光電子分光 / X線光電子回折 |
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| 研究概要 |
本研究は、X線励起光電子の放出角度分布を能率よく、かつ高精度で測定することを念頭に置いたエネルギー・角度分布同時計測型電子分光器を新たに開発することを目的としている。本年度はこの目的のためのトロイダル偏向型アナライザーの設計・試作と、電子検出用の二次元位置敏感検出器の出力信号を計数する多チャンネル計数回路の設計・試作を行った。
1.トロイダル偏向型アナライザーの設計・試作・試料表面上の1点からエネルギー・角度分布を持って放出された光電子を、互いに直交する直線方向にエネルギー分散と角度分散をそれぞれ与え、検出平面上に収束させるための電子エネルギーアナライザーとして、トロイダル180゜偏向型アナライザーを選択し、表面電荷法に基づく数値シミュレーションを用いてトロイダル面の長径、短径ならびに内面-外面間距離を決定した。この結果に基づきアナライザーの実体設計を行い、三次元NC工作機を用いて試作加工を行った。
2.多チャンネル計数回路の設計・試作:二次元位置敏感検出器の出力信号(X座標7ビット、Y座標8ビットとストローブ信号を使用)を受けて所定のメモリー内に計数を行う16ビットX32Kワード多チャンネル計数回路を新たに設計・試作した。カウンターとして用いるメモリーはパーソナルコンピュータのメモリー空間上に配置し、特別のデータ転送手続きを行わずにデータの読出しが行えること、実行する計測分解能をX・Y方向それぞれ任意にソフトウェアで設定し、メモリーの分割使用ができること、測定中にもカウンターの内容の読出し、クリアーができることの3点を基本構想とし、また、計測時間を制御するためのタイマー機能も有するものとした。
以上の2点により本研究で試作する装置の中心部分がほぼ実体化し、次年度より性能評価、制御系の製作に移る。
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