研究課題/領域番号 |
61890002
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研究機関 | 東北大学 |
研究代表者 |
塚本 勝男 東北大, 理学部, 助手 (60125614)
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研究分担者 |
寺嶋 一高 東芝総合研究所, 主任
砂川 一郎 東北大学, 理学部, 教授 (20004426)
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キーワード | その場観察 / 結晶成長 / ガリウムヒソ / 赤外顕微鏡 / ホフマンモジュレーション顕微鏡 / 表面観察 |
研究概要 |
1.高効率結晶育成セルをGaAsの結晶成長その場観察用に製作した。これは、耐圧10気圧、1000℃の環培下で結晶育成が可能であり、顕微鏡観察に適するようにコンパクトに作られた。 2.ガリウムヒソ結晶のその場観察用に、高効率なヒーターとるつぼを作製した。これは上記セルにに適合するものである。 3.高温でのその場観察の準備として、室温での結晶内の欠陥を観察可能なように、赤外顕微鏡を新たに試作した。これにより、結晶(ガリウムヒソ)内の転作分布が、鮮明にとらえることができた。また、結晶表面の観察用に、ホフマンEモジュレーション顕微鏡を全く新たに、オリンパス光学(株)と共同で開発した。以上の観察方法は現在室温用に調整されているが、そのまま、高温で結晶が成長している姿を、TV画像としてとらえる光学系として使用できる。 以上の実績は、室温では他の研究者による初歩的な例はあるが、世界的に例を見ない研究として評価できるため、次年度では、これらの装置をガリウムヒソを用いた研究に結びつけるることとする。なお、珪酸塩を用いた高温その場観察は、すでにテストずみである。
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