| 研究分担者 |
許 瑞邦 神奈川大学, 工学部, 教授 (10078298)
波岡 武 東北大学, 科学計測研究所, 教授 (90015743)
中島 将光 京都大学, 工学部, 助教授 (60025939)
多田 邦雄 東京大学, 工学部, 教授 (00010710)
西原 浩 大阪大学, 工学部, 教授 (00029018)
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| 研究概要 |
1.(1)偏向回転反射法を用いたファイバセンサに関して得られた研究成果をまとめて今後の方向を考究した. (2)熱伝達現象を用いた光集積回路流体センサの特性を解析し, 試作・実現を進め動作を確認し, その有効性を明らかにした. (3)新たにシリコン基板導波路の利用を考え, 微細加工技術を組合せて新センサを実現する可能性を追求するための研究に着手した.
2.前年度の成果を踏まえ, 高精度の位置・変位計測に用いられる二周波直交偏光ヘテロダイン干渉光学計を45×10mm^2のLiNbo_3基板上に集積した. ゼーマンレーザの代りに直線偏光レーザを光源に用いることができ, S/N比20dB以上で移動鏡の速度検出が行えることを確認した.
3.(1)光導波路型pHセンサ部と光変調部を含むマイケルソン干渉計光回路をLiNbo_3基板上に集積化したデバイスを試作し, 光変調器部の特性を評価・検討した. (2)GaAlAs系材料を用いてLPE二回成長法により, 770nm可視光DFBレーザを初めて作製し, 室温発振特性を得た. 簡単な構造にもかかわらず, 90mAという低い閾値電流を達成した.
4.被測定電磁界周波数を高めるため理論的・実験的検討を行った. (1)電気光学結晶を用いた単一導波路反射型光変調器を設計・試作し, 光ファイバを接続して高周波センサとしての動作を確かめた. (2)超高周波によって変調された光波の周波数変換型検波に関して詳しい理論解析を行った.
5.前年度の軟X線用多層膜最適設計法を拡張し, 広帯域偏光子や反射型フィルターの設計法の開発を試みた. 波長124Aでの光cvo用反射型フィルターを試作し, 反射率43%, 分解能約10の良好な特性を得た.
6.誘電体光導波路について平面回路方程式を用いた一般的解析法を示し, ストリップ形及びリブ形導波路の導波特性(伝搬特性, 電磁界分布)を計算した. 他の手法との比較も行った.
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