| 研究課題/領域番号 |
62420021
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
日比野 倫夫 名古屋大学, 工学部, 教授 (40023139)
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| 研究分担者 |
内川 嘉樹 名古屋大学, 工学部, 教授 (20023260)
花井 孝明 名古屋大学, 工学部, 助手 (00156366)
杉山 せつ子 名古屋大学, 工学部, 助手 (00115586)
下山 宏 名古屋大学, 工学部, 助教授 (30023261)
丸勢 進 名古屋大学, 工学部, 教授 (20022981)
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| キーワード | 高解像度電子顕微鏡観察 / 試料損傷 / 走査透過電子顕微鏡 / YAG単結晶シンチレータ / 信号間演算処理 / 像のSN比 |
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| 研究概要 |
1.各種信号電子の分離・検出法の確立
(1)超高圧電子顕微鏡における電子線検出素子として有望と思われるYAG単結晶シンチレータについて、1MVの加速電圧の電子線に対してその発光特性を調べた。その結果、高い感度、均一性、電子線照射損傷の受けにくさといった、電子線検出素子として重要な特性について、従来の粉末蛍光体を用いたシンチレータを上回る性能を持つことが明らかとなった。そこで、この検出器を弾性散乱電子・非弾性散乱電子の検出に用いることにした。(2)非弾性散乱電子検出器の後方に偏向マグネットを設け、非散乱電子を偏向したのちにシンチレータで検出することにより、非弾性散乱電子検出器付近で発生したX線の影響が軽減されることを見いだした。これにより、このマグネットを備えた検出器を用いて、精度よく非散乱電子信号を得ることが可能となった。
2.信号演算によるコントラスト増強法の確立
(1)種々の試料のモデルに対して、信号間演算により得られる像のSN比を計算し、最適な演算の手法を検討した。その結果。軽元素薄膜上の重元素粒子を結像する場合、減算及び割り算処理がよいSN比を与えることが分った。またこれらの処理は、支持膜の膜厚変動の影響を軽減して解像度を向上できることも見いだした。(2)このモデル計算の結果に基づいて実際に演算処理を行い、その結果を2枚の同一視野の像から最尤推定法により計算したSN比により評価するためのプログラムを作成した。この際、備品として購入した拡張用5インチ固定ディスクユニットを利用し、大容量の画像データを高速で演算できるようにした。(3)作成したプログラムの試験のため、モデル画像に相関のない雑音を重畳した2枚のSNが既知の画像をつくり、この像に対してSN比の測定を行ってプログラムの正常な動作を確認した。
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