| 研究概要 |
PtMnSbホイスラー合金はC1bの結晶構造を持ち, 現在知られている材料の中でも最大のカー回転角を有するものである. この巨大なKerr回転角を利用すれば, S/N比の良好な光磁気記録媒体を作成することができる. 我々はこの材料の薄膜化と垂直磁気異方性を誘起させることを目的として実験を行った. まず対向ターゲート式スパッタ装置においてMnターゲット上にSbチップ, Ptチップを配置した複合ターゲット構造とし膜を堆積した. この場合, 膜中結晶子の配向面は基板温度が100℃から400℃に上昇するにしたがい, (111)→(220)→(111)→(111)+(400)と複雑に変化するが, 基板温度200℃, 膜堆積速度250
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