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1988 年度 実績報告書

表面進行波を利用した極微細線加工法に関する基礎的研究

研究課題

研究課題/領域番号 62550093
研究機関名古屋大学

研究代表者

森 敏彦  名古屋大学, 工学部, 助教授 (90023340)

研究分担者 妹尾 允史  三重大学, 工学部, 教授 (40023147)
キーワード表面進行波 / 引抜き / インピーダンス整合 / 微細線加工
研究概要

1.進行波伝達系 昨年度の予備研究に引き続き、当初は、進行波の波長等を考慮し、振動子をピエゾ圧電素子、ホーンをベリリウム銅、ダイスを室化珪素で進行波伝達系を製作したが、接合面の精度等で満足な結果が得られなく、結局、ホーンをジュラルミン、ダイスをSKD11に変更して製作した。
2.進行波励振法の確立 進行波を伝播させるために励振側、吸振側ともに同一組合わせのピエゾ圧電振動子、ホーンを用意し、励振側では高周波電力を振動子で機械振動に、吸振側では機械振動を高周波に変換、最終的に変換された電気エネルギを抵抗器で消散させた。電気回路中には振動子の静電容量を補償するため、L=7.25mHのインダクタンスを接続し、抵抗値はインピーダンスマッチングを考慮し、R=2,157Ωとする。
3.引抜き装置 引抜き装置主要部は、ダイス部、ドローベンチ部、発振部、コンピュータ制御部、記録部から成る。引抜き力はチャッ部のロードセル、行程は駆動モータの回転量で測定した。
4.素線:7/3黄銅の焼鈍材、ダイス角:0.5°、断面減少率:12%、超音波共振周波数:20KHzで、通常引抜き、進行波付加引抜きを速度を変えて試験し、以下の結果を得た。
(1)進行波付加によって引抜き応力は工程を通じて一定、低値となった。
(2)引抜き速度増加で、引抜き応力は減少した。
4.上界法による引抜き応力の産出 動的可容速度場として
(i)球面速度場、
(ii)塑性流は求心流、
(iii)速度不連続は剛塑性境のみ、
(iv)表面進行波による工具の動きはUu、の仮定の下に求められた引抜き応力により表面進行波の効果を予測できた。

  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] 森敏彦: 平成元年度塑性加工春季講演会講演論文集. (1989)

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公開日: 1990-03-20   更新日: 2016-04-21  

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