超音波アクチュエータは、高周波電圧を超音波振動子に印加することにより発生する振動を一方向運動に変換することにより、回転または直進するアクチュエータである。 1.62年度には、超精密非接触変位計を購入し、振動片形アクチュエータの振動モードを調べ、各部の振動を測定した結果、次の結論をえた。 (1)振動子先端は楕円運動をしていることがわかった。 (2)楕円モデルを用いて振動片形アクチュエータの解析を行い、振動子片の傾き、荷重、印加電圧に対する発生トルクの変化を実験により調べた結果、解析結果と実験結果は定性的に良く一致した。 (3)高出力化、高性能化のための解析モデルを確立し、結果の一部を電子情報通信学会超音波研究会で発表した。 2.63年度には、表面波形超音波アクチュエータのうち二次元運動するものについて考察を加えた結果、次の結論をえた。 (1)平板における弾性波の伝播について測定方法を確立した。 (2)波の形態、速度、振動モードについて定性的、定量的な解析を行った。 (3)共振周波数と速度については、理論値は実験値と良く一致した。 (4)平板における進行波の励振方法を示した。 (5)振動が帰還する構造を持つアクチュエータを用いて一次元運動を実現することができた。
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