| 研究概要 |
1.目的
本システムは物体表面を静電容量探針を用いて機械的に2次元X-Y走査することにより, 物体表面の形状や容量分布を画像化しようとするものである. 目標性能は昭和62年度0.5μm分解能, 昭和63年度a/μm分解能である.
2.静電容量検出方式
本システムのポイントは超微小な静電容量変化をいかに検出するかということである. 種々検討の結果, VHD方式を用いることにした. すなわち, プリント基板上のプリント配線をカートリッジのフライリードとで共振回路を形成してすぐ, これに外部から注入されたおよそ1GH8の波の振幅変化を検出することにより共振周波数, すなわち微小容量変化を知る.
3.システム構成
実験装置として, 以下のようなものを製作・購入した.
(1)X-Y走査と針高を調整するための圧電アクチュエータを用いたX-Y-Z微動ステージ
(2)静電容量の変化を読み取る探針
(3)静電容量の変化を振幅の変化に変えることにより, 容量変化を検出するピックアップユニット
(4)これらの制御やデータ処理・画像処理を行なうためのパソコンおよびA/D, D/A変換ボード
4.実験結果
VHDディスク板を切り取り, テージにのせて探針で10μm四方を走査した. ピット像が陰線消去された3D鳥瞰図として得られ, 今年度目標をほぼ達成した.
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