| 研究課題/領域番号 |
62550473
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| 研究機関 | 長岡技術科学大学 |
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研究代表者 |
弘津 禎彦 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (70016525)
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| 研究分担者 |
一ノ瀬 幸雄 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (00115099)
井上 泰宣 長岡技術科学大学, 分析計測センター, 助教授 (30016133)
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| キーワード | 固相反応非晶質化 / 金属積層膜 / 高分解能電顕観察 / Co-Zr積層膜 |
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| 研究概要 |
非晶質合金を、液相または気相からの急冷によらず、固相反応により得る方法が最近開発されつつある。本研究は、Co-Zr積層膜を作成し、固相反応に起こる非晶質化のプロセスを高分解能電子顕微鏡により詳細に観察する一方、磁気的性質の変化も追求することを目的としている。
高真空下でのビームスパッタ法により、不純物混入の少いCo-Zr積層膜が得られるため、高真空Arビームスパッタリング装置を作製し、基板加熱装置の組込みなどを行った。到達真空度は2×10^<-7>Torr、Arビームの加熱電圧は最大2KV、ビーム電流は最大40mA、また基板加熱は900℃まで可能となった 。
Co-Zr積層膜がどのような加熱条件下で固相反応非晶質化するかを知る目的で、まずCo-Zr2相膜を作成し、300℃〜500℃までの基板加熱を行い、構造変化の様子を電子顕微鏡観察した。400℃以上の加熱条件下では非晶質反応は起こらず、むしろCo-Zr化合物生成反応が進行する。300℃〜350℃の加熱では、微結晶的ではあるが非晶質に近い構造が出現し、ハロー回折パターンが現れる。2層膜の300℃-長時間加熱実験ならびに多層膜にした場合の非晶質化反応の実験を今後行う予定である。
上述した実験と平行して、アモルファス合金構造の高分解能電顕像がどの様に観察されるかを調べる目的で、アモルファス合金の構造モデルを作成し、高分解能像の電算機シミュレーションを行った。構造モデルの作成に当っては、原子間ポテンシャルにLennerd-Johnes型ポテンシャルを用い、構造緩和した。
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