| 研究課題/領域番号 |
62850004
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
本田 捷夫 東京工業大学, 工学部, 助教授 (10016503)
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| 研究分担者 |
大山 永昭 東京工業大学, 工学部, 助教授 (50160643)
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| キーワード | 干渉計 / コモンパス / コニカル非球面 / フリンジ・スキャン / ヌルテスト / 散乱光干渉 / ゾーンプレート / 縞画像処理 / 偏光干渉 / PZT / 形状回帰 |
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| 研究概要 |
本研究は2年継続の研究であり、今年度(昭和63年度)はその最終年度である。
昨年度におこなった研究課題として、
1)変調偏光干渉法によるフリンジ・スキャン実現法の開発
2)干渉縞処理法
3)被測定面の形状への回帰
4)スキャッタ・プレート作成法の開発
をおこなったが、今年度はこれをふまえて、
1)ピンホールを特定位置に配置したスキャッタ・プレート干渉計と等価で更にS/Nのよい干渉縞パターンが得られるゾーン・プレート干渉計の提案
2)1)で提案した干渉計で非球面のヌルテストを実現するゾーン・プレートの光学的手法による作成法の開発
3)PZTを用いたフリンジ・スキャン法の導入
4)フリンジ・スキャンにより得られた縞パターンの前処理および位相決定アルゴリズムの開発
5)各種コニカル非球面ミラーに対するヌルテストの実現性の検討
のそれぞれについて研究・考察をおこない、上記方法を実現できる計測システムを試作した。その結果、測定現場で非球面度の大きい大口径凹面ミラーのヌルテストを高精度でおこなえる見通しを得た。
詳細については、近々『研究成果報告書』としてまとめ、出版するべく準備をすすめている。
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